[1]李晓艳,仝晓刚.微波固态电路腔体的磁控溅射镀银工艺研究[J].电镀与精饰,2014,(6):9-12.
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微波固态电路腔体的磁控溅射镀银工艺研究(
)
《电镀与精饰》[ISSN:1001-3849/CN:12-1096/TG]
- 卷:
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- 期数:
-
2014年6
- 页码:
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9-12
- 栏目:
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- 出版日期:
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2019-06-07
文章信息/Info
- 作者:
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李晓艳; 仝晓刚
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中国电子科技集团公司第十研究所
- 分类号:
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TQ153.16
- 摘要:
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研究了铝合金微波固态电路腔体磁控溅射镀银工艺方法。通过对铝合金微波固态电路腔体进行化学氧化、磷酸阳极氧化前处理,解决铝基材微波固态电路腔体溅射银层的附着力问题;通过保护工装设计,实现腔体选择性溅射,满足微波固态电路组装要求。
备注/Memo
- 备注/Memo:
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“十二五”国家科技支撑计划项目(513181501)
更新日期/Last Update:
2019-06-07