《电镀与精饰》
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氧化剂对铝栅化学机械抛光的影响
张 金
1*
，刘玉岭
2
，闫辰奇
3
2020年1 [18－21][
摘要
](
1127
)
[
pdf
1408KB]
(
356
)
DOI:
10.3969/j.issn.1001-3849.2020.01.004